薄膜卡盘的设计研究  

作　　者：沈学忠[1] 翁世修[1] 

机构地区：[1]上海交通大学机械与动力工程学院,200030

出　　处：《装备机械》2004年第4期18-20,共3页The Magazine on Equipment Machinery

摘　　要：为了提高薄膜卡盘的设计水平,本文阐述了薄膜卡盘剪力和薄膜厚度的线性变化对卡紧力的影响,推荐了薄膜盘厚度变化角β的最佳值以及薄膜盘内外半径的比值范围。

关 键 词：卡盘 设计研究 薄膜厚度 推荐 半径 厚度变化 设计水平 

分 类 号：TH712[机械工程—测试计量技术及仪器] TG751[机械工程—仪器科学与技术]