氮化锌粉末的制备和结构性质  

作　　者：宗福建[1] 马洪磊[1] 薛成山[2] 庄惠照[2] 张锡建[1] 马瑾[1] 计峰[1] 肖洪地[1] 

机构地区：[1]山东大学物理与微电子学院,济南250100 [2]山东师范大学半导体研究所,济南250014

出　　处：《中国科学（G辑）》2004年第6期610-619,共10页

基　　金：教育部博士点基金(批准号:20020422056)国家自然科学基金(批准号:9020102590301002)资助项目

摘　　要：将Zn粉末置于流量为500mL/min的NH3气流中,在600℃氮化温度下氮化120min的最佳条件下,制备出高质量的Zn3N2粉末.用x射线衍射(XRD)测量了Zn3N2粉末的结构,Zn3N2粉末是具有立方结构的晶体,其晶格常数a为0.9788nm.用扫描电子显微镜(SEM)观察了Zn3N2粉末的表面形貌,发现Zn3N2粉末具有非常丰富的晶粒表面形貌.用透射电子显微镜(TEM)验证了晶粒形状的多样性.X射线光电子谱(XPS)表明Zn3N2的化学键状态与ZnO及金属Zn明显不同,表明N-Zn键的形成.用计算机模拟了Zn3N2晶体的立体结构,用高分辨电子显微镜(HRTEM)观察了Zn3N2粉末的内部结构,观察结果与Partin等提出的Zn3N2结构模型符合很好.

关 键 词：氮化锌 粉末制备 结构性质 氮化法 X射线衍射 光电子谱 半导体材料 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]