微电子用过氧化氢的制备方法  

出　　处：《无机盐工业》2005年第1期60-60,共1页Inorganic Chemicals Industry

摘　　要：一种制备更纯的微电子用过氧化氢的方法，首先将过氧化氢溶解，然后通过蒸馏提高纯度，再加入少量螯合物和无离子改变的共聚物吸收剂，如用苯乙稀-二乙烯苯共聚物，最后获得较高纯度的过氧化氢溶液，以满足生产计算机微处理器蕊片的需要。

关 键 词：过氧化氢 制备方法 共聚物吸收剂 计算机微处理器 微电子 

分 类 号：TQ123.6[化学工程—无机化工] TP368.1[自动化与计算机技术—计算机系统结构]