Novel Folding Large-Scale Optical Switch Matrix with Total Internal Reflection Mirrors on Silicon-on-Insulator by Anisotropy Chemical Etching  

作　　者：刘敬伟 余金中 陈少武 

机构地区：[1]StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics,InstituteofSemiconductors,ChineseAcademyofSciences,POBox912,Beijing100083

出　　处：《Chinese Physics Letters》2005年第1期142-145,共4页中国物理快报（英文版）

分 类 号：O431.1[机械工程—光学工程]