一种新颖,高效的在线吸除技术  

作　　者：张建宇 陈康民 

出　　处：《上海半导体》1993年第1期53-57,62,共6页

关 键 词：集成电路 工艺 金属杂质 吸除 

分 类 号：TN470.5[电子电信—微电子学与固体电子学]