多层介质格林函数法求解导电衬底上的三维电容  

Multi-Layered Green Function Approach to 3D Capacitance Extraction with Substrate Loss

作　　者：李成[1] 张文俊[1] 余志平[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子研究所,北京100084

出　　处：《微电子学》2005年第1期36-39,共4页Microelectronics

基　　金：国家863计划资助项目(2002AA1Z1460)

摘　　要：文章重新推导了多层介质中的格林函数,解析地计算了格林函数的积分表达式,实现了 一种能同时处理导电衬底和导体厚度的三维电容计算方法。由于使用了离散余弦变换等预处理方 法,它比基于有限元和时域有限差分的算法的计算效率更高。在这些算法的基础上,实现了一个三 维电容提取工具的原型,且得到了第三方工具的验证。A compact Green function over a multi-layered substrate is derived by solving Poisson's equation analytically in the z (vertical) coordinate and numerically in the x and y (planar) coordinates. This Green function is used to extract 3D capacitance by integrating it in z coordinate analytically. The discrete cosine transform (DCT) and its variations are used for rapid evaluation. Using this technique, the substrate coupling and loss in IC's can be analyzed. Comparisons to several other tools verify the advantage of this technique.

关 键 词：格林函数 衬底耦合 三维电容 部分电容矩阵 

分 类 号：TN301[电子电信—物理电子学]