自动化椭圆偏振光谱仪的研制  

The Design of Automatic Ellipsometer

作　　者：郭扬铭[1] 莫党[1] 张曰理[1] 唐振方[2] 

机构地区：[1]中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室,广东广州510275 [2]暨南大学理工学院,广东广州510630

出　　处：《中山大学学报（自然科学版）》2005年第1期124-125,128,共3页Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50372085);广东省科技计划资助项目(2004B60303001);中山大学青年教师启动基金资助项目

摘　　要：介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制。测试结果表明:仪器对椭偏参数tanΨ的重复性测量精度为±0 0004,cosΔ的重复性测量精度为±0 001,膜厚的相对误差小于0 5%。The designs of automatic ellipsometer are reported. The experiment results show that the repeatability of (tan Ψ) and cos Δ is 0.000 4 and 0.001 respectively.The relative error of film thickness is less than 0.5%.

关 键 词：偏光谱仪 光度法 硬件 软件 

分 类 号：O433.1[机械工程—光学工程]