脉冲等离子溅射的应用  

Pulsed plasmas for sputtering applications

作　　者：W.D.Sproul 杨晴 

出　　处：《铁道机车车辆工人》2005年第1期27-31,共5页Railway Locomotive & Rolling Workers

关 键 词：脉冲等离子溅射 磁控管溅射 薄膜涂层工艺 电弧控制 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]