IC化半导体压力传感器的最新动向  

出　　处：《国外传感技术》2005年第1期i002-i002,共1页

摘　　要：本文介绍IC化半导体压力传感器的开发动向，美国IC化半导体压力传感器的实用化现状，日本IC化半导体压力传感器的开发现状，指明IC化压力传感器的用途及面临和期待解决的问题。

关 键 词：IC 半导体 压力传感器 开发现状 实用化 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]