聚对二甲苯/SiO_2薄膜应用于KDP晶体增透保护膜的制备研究  

Preparation of Parylene/SiO_2 Films Used for Protecting KDP Crystals

作　　者：刘枫[1] 沈军[1] 秦仁喜[1] 吴广明[1] 肖轶群[1] 吴兆丰[1] 

机构地区：[1]同济大学波耳固体物理研究所,上海200092

出　　处：《材料导报》2005年第1期109-111,共3页Materials Reports

基　　金：国家自然科学基金重点项目(20133040)资助课题;国家高技术863计划项目(2002AA842052)资助课题;教育部跨世纪优秀人才资助计划课题;上海市重点学科建设项目资助课题;上海市科委中法合作项目资助课题;上海市纳米科技与产业发展促进中心资助课题

摘　　要：报道了采用真空化学气相沉积法制备的聚对二甲苯薄膜和采用溶胶-凝胶技术制备的二氧化硅增透膜,通过提拉镀膜法在聚对二甲苯薄膜表面镀制 SiO_2增透膜得到的双层膜可应用于 KDP 晶体的增透保护膜。用 FT-IR、紫外-近红外分光光度计对聚对二甲苯/SiO_2薄膜的结构和光学性能进行了表征和测试。双层膜的透射率达到92%以上,激光损伤阈值为8J/cm^2。镀有保护膜的 KDP 晶体在相对湿度稳定的环境下放置半年多后透射率基本保持不变。Parylene film prepared by vacuum chemical vapor deposition process and SiO_2 reflective film pre- pared by sol-gel technology were reported in this paper.By dip-coating process,parylene film could be associated with SiO_2 AR-coating to act as protective film of KDP crystal.FT-IR spectra,UV-visible spectra are used to charac- terize the structure and optical property of films.The transmittance of composite films can reach above 92% and the laser damage threshold is 8J/cm^2.The KDP crystals with protective film can maintain the transmittance after having been put in air for more than half years.

关 键 词：KDP晶体 双层膜 SIO2薄膜 增透膜 透射率 化学气相沉积法 溶胶-凝胶技术 对二甲苯 制备研究 保护膜 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] O484[理学—固体物理]