封离型全金属RF激励CO_2激光器的热设计  

Heat design of sealed-off all metal RF excited CO_2 lasers

作　　者：汪辉[1] 王新兵[1] 何云贵[1] 

机构地区：[1]华中科技大学激光加工国家工程研究中心,武汉430074

出　　处：《激光技术》2005年第1期21-23,共3页Laser Technology

摘　　要：全金属RF激励CO2 激光器中,气体放电区的温度分布与放电区的工作气体、注入功率和激光器外壳温度都有关系。腔体厚度以及腔体和金属电极之间的绝缘气体层厚度的变化,对放电区的温度分布也会产生一定的影响。通过解析的方法,计算各种因素对温度分布的影响,为合理设计激光器的结构参数和选择适当比例的激光工作气体提供了有利的参考。In the all-metal radio frequency excited CO 2 laser,the temperature distribution in the discharge region varies with the gas mixture,input power and the background temperature.Besides the above factors,the thickness of the metal crust and the insulated gas width between the crust and metal electrode will also affect the temperature distribution to some extent.The temperature distribution in the discharge region is analyzed,which provides a good reference of designing the laser structure and selecting the gas mixture.

关 键 词：热传导 全金属结构 扩散冷却 射频放电 CO2激光器 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学]