新型微波等离子体源  

NEW MICROWAVE PLASMA SOURCE

作　　者：郭华聪[1] 

机构地区：[1]四川大学原子核科学技术研究所,成都610064

出　　处：《微细加工技术》1993年第3期33-38,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：微波等离子体的一个重要发展是电子回旋共振(ECR)放电,本文介绍ECR放电技术的现状和报告一种新型ECR等离子体源—横磁瓶ECR等离子体源,并叙述其原理和结构。An important development in the microwave plasma is the electron cyclotron resonance (ECR) discharge.This article presents the current status of ECR discharge and reports a new ECR plasma source-Transverse Magnetic Bottle ECR, including the principle and construction.

关 键 词：电子回旋共振 微波等离子体源 半导体集成电路 

分 类 号：TN453.05[电子电信—微电子学与固体电子学]