偏置电压极性对力反馈电容式微加速度计特性的影响分析  

作　　者：董林玺[1] 车录锋[2] 王跃林[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息学院信电系，杭州311027／／中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，上海200050 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，上海200050

出　　处：《高技术通讯》2004年第12期67-72,共6页Chinese High Technology Letters

摘　　要：对电容式加速度计，为测量其电容的变化，通常需要带直流偏置的交流电压信号来驱动。驱动信号产生的静电力有时会干扰器件的测量和正常工作。文章中定量分析了带有电压反馈的双边驱动信号对器件特性的影响。对于这种驱动方式，正-负和正-正的直流电压偏置可以改善器件的测量线性度，基本消除由驱动信号导致的吸合效应，而负-负和负．正的直流电压偏置会使驱动信号引起的吸合效应增大，从而大大缩小了器件的安全工作范围。

关 键 词：驱动信号 馈电 偏置电压 器件特性 电压反馈 直流偏置 电容式 直流电压 交流电压 极性 

分 类 号：TN86[电子电信—信息与通信工程] TM933[电气工程—电力电子与电力传动]