一种新型电磁驱动微泵的设计与制作工艺  

The Design and Fabrication Process of a Novel Electro-magnet ically Actuated Micropump

作　　者：苏宇锋[1] 陈文元[1] 崔峰[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微米纳米技术研究院,200030

出　　处：《新技术新工艺》2005年第2期27-29,共3页New Technology & New Process

基　　金：教育部博士点基金项目 (2 0 0 10 2 4 80 0 1)

摘　　要：主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺。该微泵结构简单 ,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成 ,采用硅加工工艺和非硅加工工艺 (电镀 )相结合进行制作。采用模压法和硅橡胶加工方法将振动膜直接做在一个硅片上 ;用电镀和硅体加工工艺制作驱动线圈和无阀泵泵体 ,然后将 3个基片键合在一起。We present the design and fabrication proc es s of a novel electro-magnetically actuated micropump.The micropump has a simple configuration, and it consists of an actual loop, a silicone rubber diaphragm a nd two vaveless nozzles.The micropump is fabricated by silicon micromaching and nonsilicon micromaching.We fabricated the diaphragm on a silicon wafer with sili cone rubber micromaching,and then embedded permanent magnetic material within th e silicone diaphragm by electroplated on a ferrite wafer.Then,three wafers are b onded together.

关 键 词：新型 硅橡胶 电镀 工艺 模压法 泵体 基片 微泵 电磁驱动 振动 

分 类 号：TQ153[化学工程—电化学工业] TH3[机械工程—机械制造及自动化]