感应式加热快速成膜处理装置  

作　　者：江莞[1] 何树先[1] 徐洪发[1] 沈贵高[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海硅酸盐研究所//苏州吴中区苏城电器厂,上海市200050

出　　处：《科技开发动态》2004年第12期43-44,共2页R&D Information

摘　　要：该实用新型专利是一种感应式加热快速成膜处理装置。

关 键 词：成膜 装置 加热 膜处理 快速 实用新型专利 感应式 

分 类 号：TM933.4[电气工程—电力电子与电力传动]