阳极氧化铝模板的制备研究  

Research on Preparation of Anodic Aluminum Oxide Template

作　　者：汪长征[1] 杨瑞明[2] 杨智[1] 张鹏翔[3] 

机构地区：[1]云南师范大学化学化工学院,云南昆明650092 [2]曲靖师范学院物理系,云南曲靖655000 [3]昆明理工大学光电子新材料研究所,云南昆明650051

出　　处：《云南冶金》2005年第1期43-45,55,共4页Yunnan Metallurgy

基　　金：云南省教育委员会基金(02ZD089);云南应用基础研究基金(2002E0018R)资助项目.

摘　　要：用一步阳极氧化法在不同的工艺条件(电解液、电压、温度、时间)下制备得到了孔径为40～200nm的阳极氧化铝(anodicaluminumoxide,AAO)模板,用扫描电子显微镜(SEM)对其形貌进行了表征。分析了阳极氧化铝模板在纳米复制(nano-copy)领域的应用前景。Anodic aluminum oxide(AAO) templates with hole aperture of 40～200 nm are prepared with one-step anodization at different technological conditions(electrolyte,voltage,temperature,time).The appearance of products is analyzed with SEM and the application prospect of AAO template in nano-copy field are described briefly.

关 键 词：阳极氧化铝模板 纳米复制 制备方法 扫描电镜(SEM) 

分 类 号：TN213[电子电信—物理电子学]