一种新型盘片轴向偏摆加速度测量仪  

A New Instrument for Measuring Disk Axial Runout Acceleration

作　　者：王佳[1] 章恩耀[1] 李达成[1] 曹芒[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系

出　　处：《仪器仪表学报》1993年第1期14-19,共6页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：本文介绍了一种新型盘片轴向偏摆加速度测量仪。这套测量系统是集精密机械,精密气浮,光电检测和计算机技术于一体的复杂测量系统。本仪器采用激光外差干涉仪作为传感器,能够测量盘片轴向偏摆速度,加速度和偏摆量,获得了较高的分辨率,稳定性和线性。不仅能够测量金属盘片,而且能适用于新发展的非金属盘片和记录介质。A new instrument for measuring disk axial runout accelerationis introduced in this article.The techniques of precision mechanism,preci-sion air bearings,photo-electronical sensors and computers are combined inthe complicated measuring system.The laser heterodyne interferometer is usedas a probe and higher resolution,stability and linearity obtained,Not only metalsubstrates and disks can be measured on the instrument,but also non-metalones and recording materials developed recently.

关 键 词：加速度测量 测量仪器 盘片偏摆速度 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]