DL—6型智能露点仪的研制  

作　　者：孙明方[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所

出　　处：《低温与特气》1994年第1期13-18,共6页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：用微机控制镜面的降温速率，从而大大提高了光电露点仪测定露点的灵敏度和测试的自动化程度．

关 键 词：露点 检测 光电露点仪 微处理机 

分 类 号：TH831[机械工程—仪器科学与技术]