在线式超高纯气体纯化器  

作　　者：木村正城 韩美 

出　　处：《低温与特气》1994年第3期48-50,共3页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０－’、１０－‘’级）供给技术。超高...

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分 类 号：TB662[一般工业技术—制冷工程] TQ051.8[化学工程]