微机械技术及其在仪表领域中的应用：第五讲 仪表应用微机械技术的实例（二）  

作　　者：谢国章 

出　　处：《电子与仪表》1994年第5期40-43,共4页

关 键 词：仪表 微机械技术 硅悬臂梁 振荡器 传感器 

分 类 号：TH7－39[机械工程—仪器科学与技术]