薄膜磁阻传感器及其应用  

Thin Film Reluctive Sensor and It's Application

作　　者：过壁君[1] 

机构地区：[1]电子科技大学

出　　处：《电子元件与材料》1994年第5期56-59,共4页Electronic Components And Materials

摘　　要：利用薄膜工艺和微细加工技术，将ＮｉＦｅ合金或ＮｉＣｏ合金真空蒸镀或溅射在玻璃或石英基片上，制作的磁阻传感器具有广泛的用途。By use of thin-film technology and microprocessing technique Ni-Fe or Ni-Co alloy is evaporated or sputtered in vacuum onto glass or quartz substrate. Reluctive sensors made in such way have wide application.

关 键 词：传感器 薄膜 磁阻传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]