65×65点阵Dammann光栅分束器  

Dammann Grating Beam Splitter With 65×65 Spot Arrays

作　　者：罗风光[1] 曹明翠[1] 李洪谱[1] 李一男 黄林强[1] 艾军[1] 徐军[1] 李再光[1] 

机构地区：[1]华中理工大学激光技术国家重点实验室

出　　处：《高技术通讯》1994年第6期1-4,共4页Chinese High Technology Letters

基　　金：国家自然科学基金;863计划;国防科工委预研基金

摘　　要：采用模拟退火－回火－广义简约梯度法（ＳＡＴ－ＧＲＧ）对６５×６５，点阵的Ｄａｍｍａｎｎ光栅进行了优化设计，对目标函数进行了修正，在玻璃基片上直接进行光刻和腐蚀，制作出国内最大点阵数的６５×６５Ｄａｍｍａｎｎ光栅。An optimization design of Dammann grating with 65×65 spot arrays has been made using simulatedannealing-tempering-generalized reduced gradient algorithm(SAT-CRG).The objective function has beenrectified.A Dammann grating with 65×65 arrays was fabricated by photolith and etching directly in a glassSubstrate。

关 键 词：光栅 分束器 点阵 光互连网络 

分 类 号：TN242[电子电信—物理电子学]