微透镜列阵的光敏热成形新方法  

A New Method of Photosensitive Thermal Formation for Mocrolens Array

作　　者：罗风光[1] 曹明翠[1] 李洪谱[1] 艾军[1] 徐军[1] 李再光[1] 

机构地区：[1]华中理工大学激光技术国家重点实验室

出　　处：《光电工程》1994年第4期1-4,共4页Opto-Electronic Engineering

基　　金：国家自然科学基金;863高技术研究计划基金;国防科工委预研基金

摘　　要：首次在国内用光敏玻璃热成形方法研制了一种新型的微透镜列阵，采用具有特定化学组分的光敏玻璃材料，在普通的紫外平行光束照射下进行感光和热处理，制得了孔径为４００μｍ的微透镜列阵。A new method of thermal formation for microlens array in photosensitive glass was presented in this paper.The photosensitive glass wafer with special composition was exposed using a normal UV parallel light source and thermal processing. The microlens array with diameter of 400μm was fabricated.

关 键 词：透镜 热成形 微型透镜 光敏透镜 光电子学 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]