IH工艺在微机械中的应用  

IH PROCESS IN THE APPLICATION OF MEMS

作　　者：崔天宏[1] 王立鼎[1] 吕琼莹[1] 汪洪涛 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所,吉林工业学院材料系

出　　处：《光学精密工程》1994年第6期18-23,共6页Optics and Precision Engineering

摘　　要：介绍了微机械加工中的一项崭新技术——ＩＨ工艺，即集成聚合物固化立体光刻。这一技术是具有大纵横比的真三维立体加工工艺，而且可以加工聚合物和金属等多种材料。最后作者把ＩＨ工艺同ＬＩＧＡ工艺等传统工艺方法加以类比，提出了ＩＨ工艺的应用前景。This paper introduce a new technology in micro fabrication.This process named “IH Process(Integrated Harden Polymer Stereo Lithography)”is a technique for real three dimensional(3D)structure with high aspect ration,and suitable for both polymer and metals.Finally the authors contrast IH process to LIGA process,and put forward the good prospect of IH process.

关 键 词：IH工艺 立体光刻 微型机械 

分 类 号：TH－39[机械工程]