散斑法测量表面粗糙度R_q的研究  

Study on Measurement of Surface Roughness R_q by Speckle

作　　者：刘映栋[1] 王亚伟[1] 

机构地区：[1]江苏工学院数理系

出　　处：《江苏工学院学报》1994年第2期89-93,共5页

摘　　要：围绕光学测量表面粗糙度Ｒ＿ｑ的精度提高问题，应用Ｌｅｇｅｒ理论，侧重讨论了投射到测量表面的两束激光相干光束之间的夹角δｘ的变化对测量结果的影响，指出了一条提高测量精度和扩大测量范围的有效途径。The improvement and the precise in measurement of the roughness Rq is studied,above all,the effect of variation in the angle δα between doubly coher-ent light on the surface by using Leger's Laser speckle coherent theory.Then pro-posed is a method for improvement the measurement precision and for develop-ment of the measurement range。

关 键 词：表面粗糙度 激光干涉测量 散斑法 

分 类 号：TG84[金属学及工艺—公差测量技术]