Design,Fabrication,and Testing of Single-Side Alignment of 16×0.8nm Arrayed-Waveguide Grating  

单侧耦合 1 6×0.8nm阵列波导光栅的设计、制备及测试(英文)

作　　者：李健[1] 安俊明[1] 王红杰[1] 夏君磊[1] 胡雄伟[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2005年第2期254-257,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家重点基础研究发展规划 (批准号 :G2 0 0 0 0 3 660 2 ) ;国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 2AA3 12 2 60 );国家自然科学基金 (批准号 :6988970 1)资助项目~~

摘　　要：A novel design of 100GHz-spaced 16channel arrayed-waveguide grating (AWG) based on silica-on-silicon chip is reported.AWG is achieved by adding a Y-branch to the AWG and arranging the input/output channel in a neat row,so the whole configuration can be aligned and packaged using only one fiber-array.This configuration can decrease the device’s size,enlarge the minimum radius of curvature,save time on polishing and alignment,and reduce the chip’s fabrication cost.介绍了一种新型 16通道、10 0GHz通道间隔的硅基二氧化硅单侧耦合阵列波导光栅 (AWG) .通过增加一个Y分支波导结构 ,并且将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列 ,实现了仅用一个光纤阵列进行AWG器件的耦合封装 .这种AWG的结构设计可以有效地减小器件尺寸 ,增加波导结构的弯曲半径 ,减少器件抛光及耦合时间 ,并降低器件成本 .

关 键 词：optical planar waveguide phased arrays wavelength division multiplexing 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学]