高空间分辨率红外椭圆计  

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作  者:高编 

出  处:《红外》2005年第3期48-48,共1页Infrared

摘  要:本发明提供一种高空间分辨率红外椭圆计,该椭圆计由红外光源(S)、样品支架(PE)、传感器(D)、两个光学系统以及遮光器(F1,F2)等组成.第一个光学系统装在光源(S)和样品支架(PE)之间,它可以使光照射在位于样品支架上的样品上,第二个光学系统位于样品支架和传感器(D)之间,它是用来会聚由样品反射的光的,第二个光学系统的光路中也装有一个遮光器(F2),

关 键 词:空间分辨率 红外椭圆计 传感器 遮光器 光学系统 

分 类 号:TH744[机械工程—光学工程]

 

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