“魔镜”方法与晶体缺陷的检测  

作　　者：邓江东[1] 李增发[1] 张光寅 颜彩繁 

机构地区：[1]南开大学物理系

出　　处：《物理》1994年第9期556-561,共6页Physics

基　　金：天津市自然科学基本

摘　　要：“魔镜”技术是我国西汉时期的一项创造发明，由此引发出的“魔镜”检测方法现在已被有效地应用于各种镜状表面缺陷的检测。本文介绍了“魔镜”检测原理以及我们采用激光技术发展起来的一种“魔镜”检测方法，并简要报道了用“魔镜”方法检测硅外延片表面缺陷及晶体内部生长不均匀等缺陷的最新成果。

关 键 词：表面 缺陷 魔镜 无损检验 

分 类 号：TN206[电子电信—物理电子学]