用于微波器件的大面积YBCO超导薄膜  

作　　者：王小平[1] 杨秉川[1] 石东奇[1] 彭正顺[1] 王瑞坤[1] 孙丽虹[1] 张其劭[1] 卢剑[1] 罗正祥[1] 任向阳[1] 郝凤珠[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院,成都电子科技大学

出　　处：《稀有金属》1994年第6期401-405,432,共6页Chinese Journal of Rare Metals

基　　金：国家超导技术联合研究开发中心的资助

摘　　要：高质量大面积ＹＢＣＯ簿膜是用原位中空柱状阴极直流磁控溅射装置制备的。化学计量比的超导靶的内在为１００ｍｍ，加热器有效面积５０×４０ｍｍ￣２。在３０×３０ｍｍ￣２的Ｚｒ（Ｙ）Ｏ＿２ＬａＡｌＯ＿３基片上沉积的ＹＢＣＯ薄膜的厚度均匀度为±６％，临界温度Ｔ＿ｃ＞８９Ｋ，Ｔ＿ｃ不均匀性在１％以内，△Ｔｃ在０．８～０．９之间，临界电流密度Ｊ＿ｃ为２０～３．５×１０￣６Ａ／ｃｍ￣２；△Ｊ＿ｃ为１．０～１．５Ａ／ｃｍ￣２。微波表面电阻在７７．５Ｋ、９８９４ＭＨｚ下，测得Ｒｓ在０．２５～０．７６ｍΩ。以上参数表明该ＹＢＣＯ超导薄膜可在无源微波器件领域应用。ＹＢＣＯ超导薄膜沿Ｃ轴生长时的临界电梳密度Ｊ＿ｃ比沿ａ轴和ｂ轴生长时的临界电流密度Ｊ＿ｃ大两个数量级，微波表面电阻可差一个数量级。所制备的ＹＢＣＯ薄膜样品经Ｘ射线衍射分析表明，是纯Ｃ轴垂直于基体表面的外延薄膜。ＳＥＭ电子沟道和ＴＥＭ截面电子衍射结果表明，在Ｚｒ（Ｙ）Ｏ＿２和ＬａＡＩＯ＿３基体上沉积的薄膜为单晶结构。用该薄膜做出了性能良好ＹＢＣＯ超导带状线谐振器，其Ｑ＿０（无载品质因素）值达到１３１００。做出的环形微带谐振器，直线式微带谐振器，超导天线均性能良好，已可作为单独?

关 键 词：超导体 薄膜 YBCO 微波器 

分 类 号：TM262[一般工业技术—材料科学与工程]