原子力显微镜(AFM)在材料性能分析中的应用  

作　　者：施春陵[1] 蒋建清[1] 

机构地区：[1]东南大学材料科学与工程系,南京210096

出　　处：《江苏冶金》2005年第1期7-9,共3页Jiangsu Metallurgy

基　　金：国家973重大基础前期研究专项(编号:2002CCAO2000);江苏省自然科学基金项目(编号:BK2002062)。

摘　　要：介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理,及其在材料微观表面形貌与性能分析、检测等方面的应用现状;指出AFM具有超高二维分辨、显微镜倍率连续可调等特点,利用其对材料表面进行实时扫描成象,可准确获得被测表面的二维图象信息,是现代微材料研究领域的重要工具,应用前景十分广阔。

关 键 词：原子力显微镜 微观形貌 性能分析 

分 类 号：TH742.7[机械工程—光学工程]