大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势  

Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements

作　　者：韦丰[1] 陈本永[2] 丁启全[1] 

机构地区：[1]浙江大学机械工程系,浙江杭州310027 [2]浙江理工大学测控系,浙江杭州310033

出　　处：《光学技术》2005年第2期302-305,308,共5页Optical Technique

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50275138)

摘　　要：介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法,在数十毫米的测量范围内,理论上可以达到1/440000的细分系数。The methods for long-range and high-accuracy nanometer measurement are introduced, and some typical devices are displayed. A novel method for long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurement is proposed based on the principle of fringe subdivision by use of a synthetic wavelength with a subdivision factor of up to 1/440000.

关 键 词：纳米测量 光学干涉仪 自混频干涉 扫描探针显微镜 合成波长 

分 类 号：TH706[机械工程—仪器科学与技术] TH744[机械工程—精密仪器及机械]