512×512元高帧速可见光CCD  

作　　者：刘昌林 李仁豪 唐绍凡[2] 周旭东 龙飞 

机构地区：[1]CCD图像传感器国家级重点实验室，重庆400060 [2]中国航天科技集团公司508所，北京100063

出　　处：《半导体光电》2005年第B03期16-18,117,共4页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：CCD具有低响应非线性、宽光谱响应、低噪声、高动态范围和测光精度，已被广泛应用于许多成像领域。本文介绍了利用三层多晶硅、埋沟、双层金属工艺研制的16抽头512×512元高帧速可见光CCD。测试结果表明，该器件具有高的光响应均匀性、高动态范围和低噪声，并已成功应用于高分辨率高速成像。

关 键 词：高帧速 高速成像 多抽头 可见光CCD 

分 类 号：TN386.5[电子电信—物理电子学]