激光烧蚀溅射Al靶产生的Al离子的空间角分布  

Space Angular Distribution,Measurement of Al Positive Ions Ejected from Excimer Laser Abalation of Al

作　　者：曾宪康[1] 方尔梯[1] 张谊华[1] 黄正宇[1] 张抗战 何波 滕玉美[1] 

机构地区：[1]上海华东理工大学化学物理研究室

出　　处：《应用激光》1994年第3期113-116,共4页Applied Laser

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：分别测定了紫外激光烧蚀Ａｌ表面溅射Ａｌ正离子的总离子空间角分布和离子平动能分辨的离子空间角分布。对紫外激光烧蚀Ａｌ表面溅射产生的两组具有不同最可几率平动能离子，平动能较大的离子为垂直靶面前向散射，平动能较小的离子为余弦分布。本文还讨论了产生两种不同角分布的机理。Space angular distribution of total ions and ions with energy-resolved from aluminium surface irradiated with XeCl excimer laser pulses are reported. For two kinds of ions with different probable energy values, their angular distributions are different. The distribution of low energy ion is a cosine scattering, however, that of higher one is a marked forward scattering.The mechanism of ablation is discussed.

关 键 词：激光烧蚀 溅射 铝 铝离子 空间分布 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学]