电子气终端纯化系统  

作　　者：Semi-GasSystemsInc. 赵静渊 

出　　处：《低温与特气》1987年第2期36-38,共3页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：由半导体气体设备公司(Semi-Gas Systems Ine．)制造的“Nanochem”气体纯化系统(图1)，是一种紧凑的纯化气体范围较广的终端纯化系统，对除去氧和水可达10ppb以下。另外，该纯化器还可从工艺过程气体中除去含氯的杂质。

关 键 词：纯化系统 终端 电子气 SYSTEMS 气体设备 工艺过程 半导体 纯化器 除去 

分 类 号：TQ116.11[化学工程—无机化工] TN929.5[电子电信—通信与信息系统]