半导体废气消毒总装置  

作　　者：张应焞[1] 韩美[2] 

机构地区：[1]化工部光明化工研究所 [2]化工部西南化工研究院

出　　处：《低温与特气》1987年第3期70-70,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：日本关西研热工业公司根据各种环境污染防止装置的研究成果来进行改进，研制了一种半导体废气消毒总装置，现已开始销售。

关 键 词：半导体 消毒 废气 研究成果 防止装置 环境污染 

分 类 号：X701[环境科学与工程—环境工程] TN304.23[电子电信—物理电子学]