半导体制造用气的容器阀  

作　　者：韩美 

出　　处：《低温与特气》1985年第2期93-93,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：日本高千穗化学工业公司使用的半导体制造用气的容器阀是隔膜式和键板式阀,但大部分是隔膜式阀。这些阀符合日本工业标准JIS B 8246。隔膜式容器阀的结构如图所示。

关 键 词：日本高千穗化学工业公司 半导体制造用气 容器阀 隔膜式 键板式 

分 类 号：TQ116[化学工程—无机化工]