用灰阶编码掩模制作折/衍混合微光学元件  

Fabrication of Hybrid Micro-Optics Elements with Gray-Tone Coding Mask Method

作　　者：肖啸[1] 

机构地区：[1]乐山师范学院物理与电子信息科学系,乐山614004

出　　处：《光学与光电技术》2005年第2期48-50,共3页Optics & Optoelectronic Technology

摘　　要：设计了消色差的折/衍混合微光学元件的灰阶掩模,该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正,并给出了模拟计算的的结果。A gray-tone mask according to an achromatic hybrid micro-optics element is designed, and it pre-corrects the aberration in the process of lithography. The simulation results are presented.

关 键 词：混合光学 灰阶编码 消色差 

分 类 号：O439[机械工程—光学工程]