TiO_2薄膜紫外探测器的光电特性  

Photocurrent Characteristics of Ultraviolet Photoconductive Detectors with TiO_2 Film

作　　者：甘勇[1] 刘彩霞[1] 张爽[1] 薛海林[1] 董玮[1] 张歆东[1] 邹博[2] 吴凤清[2] 徐宝琨[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]吉林大学集成光电子国家重点联合实验室,长春130023 [2]吉林大学化学学院,长春130023

出　　处：《Journal of Semiconductors》2005年第4期795-797,共3页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金资助项目(批准号:60374048)~~

摘　　要：采用溶胶凝胶法(Sol Gel),在Si衬底上生长了TiO2纳米薄膜,并用此材料制备了光电导型的TiO2薄膜紫外光探测器.通过测量探测器的光电流与照射光波长的关系,可以看出,TiO2探测器在紫外波段230～280nm有很明显的光响应,光电流谱线近乎平坦;在280nm处光响应出现明显下降,且跨度较大,直至360nm又再次趋于平坦.测量了250nm波长处的响应度和外加偏压的关系,发现响应度随外加偏压的增加而增加,5V时达到饱和.The photocurrent characteristics of the photo conductive ultraviolet detector based on TiO_2 film grown on Si substrate by Sol-Gel are investigated.The spectral responsivity remains nearly constant for wavelength from 230 to 280nm and drops by one order of magnitude in 360nm.We also obtain the voltage-dependent responsivity.

关 键 词：TIO2薄膜 紫外光电导探测器 MSM 

分 类 号：TN22[电子电信—物理电子学]