等离子体基离子注入技术发展及其应用  

作　　者：蔡珣[1] 

机构地区：[1]上海交通大学材料学院,200300

出　　处：《机械工人（热加工）》2005年第4期33-35,共3页Machinist Metal Forming

摘　　要：等离子体基离子注入是一新型的材料表面改性技术,它克服了传统离子注入视线加工的缺陷,可处理复杂形状工件,并可批量生产,生产效率高,设备成本低。本文简述了等离子体基离子注入的原理、特点及其工业的应用,并指出等离子体基离子注入技术与其他镀膜技术相结合是今后的发展趋势。

关 键 词：离子注入技术 等离子体基离子注入 应用 表面改性技术 复杂形状工件 批量生产 生产效率 发展趋势 线加工 成本低 

分 类 号：TG174.444[金属学及工艺—金属表面处理] TN305.3[金属学及工艺—金属学]