微细电化学加工技术  

The fabrication technology of electrochemical micromachining

作　　者：曾繁章[1] 郭钟宁[1] 刘江文[1] 

机构地区：[1]广东工业大学机电学院,广东广州510090

出　　处：《机电工程技术》2005年第5期11-14,23,共5页Mechanical & Electrical Engineering Technology

基　　金：广东省自然科学基金资助项目(020144);广州市科技计划项目(2004Z3-D0051)

摘　　要：介绍了微细电化学加工的原理及特点,详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术、EFAB制作技术、刻蚀剂层技术(CELT)、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术。The principle of electrochemical micromachining(EMM) is introduced in this paper. The main fabrication technology of EMM, such as EMM by the tip of EC-SPM,electrochemical fabrication (EFAB), confined etchant layer technique (CELT) and super-micro pole of EMM, are described in detail.

关 键 词：微细零件 微细电化学加工 电化学显微镜 EFAB CELT 超微细电极 

分 类 号：TG662[金属学及工艺—金属切削加工及机床]