半导体气敏元件  

Semiconductor Gas-sensitive Component

作　　者：吴义炳[1] 

机构地区：[1]福建农林大学机电学院,福建福州350002

出　　处：《机械工程与自动化》2005年第1期105-107,共3页Mechanical Engineering & Automation

摘　　要：首先介绍半导体气敏元件的工作原理,然后从制备工艺、基材现状、测量方法三方面进行了综述。Work principle of semiconductor gas-sensitive component was introduced, and then summarized in preparation technics, raw material actuality and measurements.

关 键 词：半导体 气敏元件 制备工艺 

分 类 号：TN304.92[电子电信—物理电子学]