扩散硅压力传感器负热灵敏度漂移补偿方法的研究  

作　　者：张莉丽[1] 戎华[2] 刘仁 

机构地区：[1]西安交通大学,陕西西安710049 [2]南京师范大学,江苏南京210000 [3]兰州炼油化工仪表厂,甘肃兰州730060

出　　处：《化工自动化及仪表》2005年第3期74-75,共2页Control and Instruments in Chemical Industry

摘　　要：分析恒压源供电和恒流源供电两种情况下扩散硅压力传感器的灵敏度随温度变化的关系式,提出用负阻抗变换器补偿负热灵敏度漂移的方法。模拟结果表明补偿效果非常显著。

关 键 词：压力传感器 负热灵敏度漂移 补偿 负阻抗变换器 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]