溶胶凝胶法制备SnO_2掺杂透明导电膜及性能测试  

Optical and electrical properties of SnO_2 thin films deposited by sol-gel process

作　　者：张荣军[1] 商宝江 张新恩[1] 石元昌[3] 

机构地区：[1]山东省科学院新材料研究所,山东济南250014 [2]山东省医疗器械公司,山东济南250013 [3]山东大学材料科学与工程学院,山东济南250061

出　　处：《山东科学》2005年第2期46-49,共4页Shandong Science

摘　　要：在醇溶剂中,以SnCl4和Si(OEt)4为原料,用溶胶凝胶浸渍法分别制备掺杂锑、氟和锌离子的SnO2透明导电薄膜,并对其性能进行了测试。结果表明,该方法制得的透明导电薄膜的光电指标性能良好,并且具有工艺简单,生产成本低,适合对大面积和异形基板涂膜的优点。In the solution of alcohol,SnCl_4 and Si(OEt)_4,the transparent and conductive thin films of doped tin oxide have been prepared by the sol-gel dipping .Electrical and optical properties were investigated and analyzed.

关 键 词：溶胶凝胶 SnO2掺杂 透明导电膜 

分 类 号：TK511.4[动力工程及工程热物理—热能工程]