Al-Mx金属多层膜的红外特性研究  

作　　者：王闸[1] 孙勇[2] 

机构地区：[1]昆明理工大学材料与冶金工程学院材料系，昆明650031 [2]云南省新材料制备与加工重点实验室，昆明650093

出　　处：《材料导报》2004年第F04期239-241,共3页Materials Reports

摘　　要：利用红外光谱仪分析了用离子溅射技术制备的Al-Mx金属多层膜的红外特性。结果表明，在2000～4000cm^-1波段多层膜具有良好的红外吸收特性，并推导了多层膜对特定波段的红外波的吸收公式。

关 键 词：金属多层膜 特性研究 红外吸收特性 红外光谱仪 红外特性 溅射技术 红外波 波段 

分 类 号：TN305.92[电子电信—物理电子学] O484.43[理学—固体物理]