扫描探针显微镜系统的各种组合方式  

Various Configurations of Scanning Probe Microscopes (SPMs)

作　　者：杨金涛[1] 徐文东[1] 

机构地区：[1]中科院上海光学精密机械研究所光存储实验室,上海201800

出　　处：《激光与光电子学进展》2005年第6期44-47,55,共5页Laser & Optoelectronics Progress

摘　　要：综述了扫描探针显微镜(SPM)系统中显微镜主体部分的各种结构方式,分析其优缺点,对新型SPM的设计提供了参考。Various configurations of the principal part of scanning probe microscopes (SPM) are summarized, and their advantages and disadvantages are analyzed in detail for reference of designing and fabricating novel SPMs.

关 键 词：组合方式 扫描探针显微镜(SPM) 系统 结构方式 主体部分 优缺点 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] N94[自然科学总论—系统科学]