基于三维有限元的电涡流传感器参数的仿真研究  

3-D FEA Simulating Study on the Parameters of Eddy Current Displacement Sensor

作　　者：周丹丽[1] 赵辉[1] 刘伟文[1] 洪海涛[1] 

机构地区：[1]上海交通大学信息检测技术及仪器系,上海200030

出　　处：《计算机测量与控制》2005年第6期618-620,共3页Computer Measurement &Control

摘　　要：电涡流传感器的参数变化对其性能的影响是比较显著的,因此设计电涡流传感器的关键在于对传感器参数进行优化,采用有限元技术(ANSYS软件)对不同形状的空心平面线圈的三维电磁模型进行仿真分析,在得到各种电感曲线的基础上,定性地分析了几种主要参数变化对变面积式电涡流传感器的影响,结果表明,为了提高传感器测量灵敏度,线圈应采用较小的长度、较大的宽度和尽可能小的间隙,该项研究成果为传感器优化分析提供了有利的方法和手段。Parameters change of eddy current sensor will make influence on its performance. Accurate three-dimensional electromagnetism models of variform planar windings are established with FEA (Finite Element Analysis) software ANSYS and various inductance curve are obtained to reveal the influence of parameters to area-variable eddy current displacement sensor. The simulating results indicated that short length of winding, large width of winding and small distance between winding and reflector can bring better sensitivity. The result will provide useful analysis method for the optimization of eddy current sensor.

关 键 词：电涡流传感器 三维有限元 仿真研究 ANSYS软件 参数变化 有限元技术 测量灵敏度 仿真分析 电磁模型 平面线圈 优化分析 研究成果 曲线 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TU457[自动化与计算机技术—控制科学与工程]