基于氧化铝牺牲层Pt离子植入Ni的混合与腐蚀特性研究  

作　　者：胡煊 张华伟 

出　　处：《国外舰船工程》2005年第4期26-29,共4页International Ship Engineering

摘　　要：溅镀是重离子高剂量植入所面临的一项重大难题，因为这种方式限制了植入离子可达到的浓度峰值。为了提高植入离子的保留剂量，目标体可以覆盖一层薄的低溅镀量的牺牲层。在离子植入过程中，这种牺牲层在保护了目标材料的同时，自身却被缓慢腐蚀。金属氧化物因为具有低溅镀量特性，所以成为了牺牲层的首选。重点评估Al2O3在Pt离子植入Ni目标体过程中作为牺牲层的性能，同时研究试样离子束的混合和腐蚀特性。与Al相比，牺牲层材料Al2O3与Ni的混合度显著降低，Al与Al2O3混合度的差别来自两者热力学参数的不同。抗腐蚀特性的测量说明了植入Pt离子试样和无离子植入试样的实质区别，在以最低的剂量——(0．1～0．2)×10^17Pt离子／cm^2植入Pt后，试样的腐蚀速率是未植入离子试样的十分之一。然而随着Pt含量的增加，材料抗腐蚀能力将会降低。这是因为在高剂量的情况下，离子束混合使Ni被互化合物束缚，导致组成NiO钝化层的Ni元素的减少，从而使腐蚀速率增加。

关 键 词：离子植入 牺牲层 PT 特性研究 氧化铝 Al2O3 腐蚀速率 金属氧化物 热力学参数 抗腐蚀特性 抗腐蚀能力 离子束混合 高剂量 目标体 混合度 试样 重离子 溅镀 材料 化合物 钝化层 NiO 相比 

分 类 号：TQ133.1[化学工程—无机化工] TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]