一种新型电容式薄膜测厚仪  

A New Kind of Intelligent Capacitive Thin Film Thiekness Measuring Instrument

作　　者：李晶[1] 

机构地区：[1]天津大学精仪系

出　　处：《自动化与仪表》1994年第1期25-27,共3页Automation & Instrumentation

摘　　要：1 引言 随着现代工业生产的高度发展,对塑料薄膜做小厚度的测量提出了新的要求。为此,我们开发了一种采用微机控制、实现动态非接触测量的新型智能式精密电容薄膜测厚仪。该测厚仪采用进口集成电路,其测量线路应用反馈运算方法和驱动电缆技术,使之在测量塑膜厚度时,实现输出电压与膜片厚度的线性关系。

关 键 词：塑料 薄膜 电容式 测厚仪 厚度 

分 类 号：TQ320.55[化学工程—合成树脂塑料工业]