128×128PtSi高速逐行扫描CCD器件的研制  

128×128 PtSi High Speed Progressive Scanning CCD

作　　者：翁雪涛[1] 易萍[1] 唐遵烈[1] 李华高[1] 陈于伟[1] 陈红兵[1] 

机构地区：[1]重庆光电技术研究所,重庆400060

出　　处：《半导体光电》2005年第3期177-179,共3页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：采用2μm的设计规则,在硅工艺线上,成功设计和制作了128×128PtSi高速逐行扫描CCD器件。介绍了器件的结构、制作工艺和参数测试结果。By using 2 μm design rule and silicon technology, 128 × 128 PtSi high speed progressive scanning CCD has been designed and fabricated. The configuration and process of the device have been introduced. The result of parameter test has also been given.

关 键 词：CCD 高速 逐行扫描 

分 类 号：TN386.5[电子电信—物理电子学]