TiO_2薄膜光学性质的研究  

Study on optical properties of TiO_2 film

作　　者：李丹[1] 何愿华[2] 柳清菊[2] 

机构地区：[1]广西师范大学物理与信息工程学院,广西桂林541004 [2]云南大学材料科学与工程系,云南昆明650091

出　　处：《大学物理》2005年第7期36-39,54,共5页College Physics

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50162002)

摘　　要：以磁控溅射制备的TiO2薄膜为样品,通过对薄膜折射率、吸收系数、膜厚度与入射光波长相互关系的分析,获得了TiO2薄膜的折射率、吸收系数与入射光波长的关系式,以及TiO2薄膜厚度的计算公式.The optical characteristics on the interrelation between wavelength and refractivity,absorptance,film thickness of TiO_2film prepared by magnetron sputtering is studied,and the formulas expressing their relation are obtained.

关 键 词：TIO2薄膜 光学性质 折射率 吸收系数 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]